產(chǎn)品介紹

離子束中和系統(tǒng)，通常稱為等離子體橋中和器(PBN)，作為離子束(蝕刻)系統(tǒng)的一部分。等離子橋中和器(PBN)將電子注入到束流中，它的作用是抵消基片上的正離子電流。 這防止了基片上正電荷離子的積聚。由于離子束帶正電并傾向于擴(kuò)散(電荷相斥)，向離子束中注入電子也有助于保持離子束的準(zhǔn)直。 由于抑制柵上的負(fù)電位，由PBN提供的電子不重新進(jìn)入柵極集合。

等離子橋中和器(PBN)有三個(gè)基本功能:1. 啟動(dòng)源（點(diǎn)火）2. 減少基板上的電荷積聚3.輔助校準(zhǔn)離子束

主要優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用

我司獨(dú)有的PBN設(shè)計(jì)在特定的操作方法中使用，極大地延長(zhǎng)了燈絲壽命減少部件損耗，我司PBN產(chǎn)品可以容易地提供至少500小時(shí)的燈絲壽命。

本產(chǎn)品不僅適用于低能量離子束系統(tǒng)，用于束幾何形狀（Beam geometry）和束撞擊的基板中和雙方，還有利于高能量離子束的基板表面中和。